Tekonolosi laser wafer ultrafast maualuga le faatinoga

Wafer vave tele le fa'atinogatekinolosi laser
Malosiaga maualugalasers vave telee fa'aaogaina lautele i gaosiga fa'atekonolosi fa'aonaponei, fa'amatalaga, microelectronics, biomedicine, puipuiga fa'aleatunuu ma vaega fa'amiliteli, ma o su'esu'ega fa'asaienisi talafeagai e taua tele i le fa'alauiloaina o le fa'asaienisi ma tekinolosi fa'aleatunuu ma le atina'e maualuga.faiga laserFaatasi ai ma ona tulaga lelei o le malosi maualuga, le malosi tele o le pulse ma le lelei tele o le averesi, e tele le manaoga i le fisiki attosecond, faagasologa o meafaitino ma isi vaega faasaienisi ma alamanuia, ma ua lautele ona popole i ai atunuu i le lalolagi atoa.
Talu ai nei, ua faʻaaogaina e se 'au suʻesuʻe i Saina le module wafer na atiaʻe e le tagata lava ia ma le tekinolosi faʻaleleia o le toe faʻafouina e ausia ai le maualuga o le faʻatinoga (mautu maualuga, malosi maualuga, lelei maualuga o le ave, lelei tele) ultra-fast waferleisagaluega faatino. E ala i le mamanuina o le avanoa o le fa'amalosia o le toe fa'afouina ma le puleaina o le vevela o luga ma le mautu fa'amekanika o le tioata tisiketi i totonu o le avanoa, o le gaosiga o le laser o le malosi o le pulse e tasi >300 μJ, lautele o le pulse <7 ps, malosiaga averesi >150 W ua ausia, ma o le maualuga o le lelei o le liua o le malamalama-i-le-malamalama e mafai ona o'o atu i le 61%, o le maualuga foi lea o le lelei o le liua opitika ua lipotia mai i le taimi nei. O le beam quality factor M2<1.06@150W, 8h mautu RMS<0.33%, o lenei ausia o se alualu i luma taua i le laser wafer ultrafast maualuga, lea o le a maua ai le tele o avanoa mo fa'aoga laser ultrafast maualuga.

Faiga fa'ateleina o le toe fai soo, malosi maualuga o le wafer regeneration
O le fausaga o le wafer laser amplifier o loʻo faʻaalia i le Ata 1. E aofia ai se puna fatu fiber, se ulu laser manifinifi ma se avanoa faʻamalosia toe faʻafouina. O se ytterbium-doped fiber oscillator ma le averesi o le malosiaga o le 15 mW, o se galu tutotonu o le 1030 nm, o se lautele o le pulse o le 7.1 ps ma se fua faatatau o le toe fai o le 30 MHz na faʻaaogaina o le puna fatu. O le ulu laser wafer e faʻaaogaina se tioata Yb: YAG faia i le fale ma le lautele o le 8.8 mm ma le mafiafia o le 150 µm ma se faiga pamu 48-stroke. O le puna pamu e faʻaaogaina se zero-phonon line LD ma se galu loka 969 nm, lea e faʻaitiitia ai le quantum defect i le 5.8%. O le fausaga faʻamālūlū tulaga ese e mafai ona faʻamālūlūina lelei le tioata wafer ma faʻamautinoa le mautu o le avanoa toe faʻafouina. O le avanoa faʻamalosia toe faʻafouina e aofia ai sela Pockels (PC), Manifinifi Ata Tifaga Polarizers (TFP), Quarter-Wave Plates (QWP) ma se resonator mautu maualuga. E fa'aaogaina ni mea e vavae'ese ai le malamalama fa'ateleina mai le fa'aleagaina fa'afuase'i o le puna o fatu. O se fausaga e vavae'ese ai e aofia ai le TFP1, Rotator ma le Half-Wave Plates (HWP) e fa'aaogaina e vavae'ese ai fatu na ulufale mai ma pulse fa'ateleina. E ulufale atu le pulse o fatu i le potu fa'ateleina o le toe fa'afouina e ala i le TFP2. O tioata o le Barium metaborate (BBO), PC, ma le QWP e tu'ufa'atasia e fausia ai se ki opitika e fa'aogaina ai se voltage maualuga i lea taimi ma lea taimi i le PC e pu'eina ai le pulse o fatu ma fa'asalalau i tua ma luma i totonu o le lua. O le pulse e mana'omia e fe'avea'i i totonu o le lua ma fa'ateleina lelei i le taimi o le fa'asalalauina o le ta'amilosaga e ala i le fetu'una'i lelei o le vaitaimi o le fa'apipi'iina o le pusa.
O le fa'amalosi toe fa'afouina o le wafer e fa'aalia ai le fa'atinoga lelei o le output ma o le a i ai sona sao taua i vaega gaosi oloa maualuluga e pei o le ultraviolet lithography extreme, puna pamu attosecond, eletise 3C, ma ta'avale eletise fou. I le taimi lava e tasi, o le tekinolosi laser wafer e fa'amoemoeina o le a fa'aogaina i ta'avale tetele e sili ona malolosi.masini laser, ma tuʻuina atu ai se auala fou faʻataʻitaʻi mo le fausiaina ma le iloa lelei o mea i luga o le fua faʻatatau o le vateatea nanoscale ma le fua faʻatatau o le taimi femtosecond. Faatasi ai ma le sini o le auauna atu i manaʻoga autu o le atunuʻu, o le a faʻaauau pea ona taulaʻi le 'au o le poloketi i le faʻafouga o tekinolosi laser, faʻaauau pea ona faʻaleleia le sauniuniga o tioata laser malosi maualuga, ma faʻaleleia atili le gafatia tutoʻatasi o suʻesuʻega ma atinaʻe o masini laser i vaega o faʻamatalaga, malosiaga, meafaigaluega maualuga ma isi mea.


Taimi o le meli: Me-28-2024