Aiseā e tatau ai ona tatou faʻaaogaina le Ge e fai ma photodetector

Aiseā e tatau ai ona tatou faʻaaogaina le Ge e fai mamasini e iloa ai ata
1, Tulaga faavae: Aisea e tatau ai ona faʻaaoga le Ge e fai ma photodetector
I totonu o feso'ota'iga opitika silicon, o le photodetector o "fa'aliliu" ia e toe liua fa'ailo opitika i fa'ailo eletise. Peita'i, o le silicon lava ia e iai le vaeluaga o le fusi o le 1.12 eV ma e toetoe lava a manino i fusi feso'ota'iga 1310/1550 nm, o lea e na'o le germanium (Ge) e mafai ona fa'aofiina.
O le Ge e iai le vaeluaga tuusa'o o le fusi o le 0.8 eV, lea e ufiufi ai le fusi feso'ota'iga O/C, ae e 4.2% le le fetaui o le lattice ma le silicon. O le mafiafia o le dislocation mo le tuputupu a'e tuusa'o e maualuga e pei o le 4 × 10⁸ cm⁻², ma e le mafai ona maua le tafe pogisa; I le taimi lava e tasi, o le Ge e iai le vaeluaga tuusa'o o le fusi, ma o lona fua fa'atatau o le mitiia e masani lava ona tasi le fa'atonuga o le tele e maualalo ifo nai lo le InGaAs, o se vaivaiga masani.
2, Fa'afouga autu: o le tu'ufa'atasia o le waveguide e motusia ai le fa'alavelave fa'atino
O le "umi mitiia=ala e aoina ai le avefe'au" o masini iloa ata masani e fa'atatau i le tupuaga o le eletise e iai se saoasaoa e fa'asolosolo malie ai le "bandwidth tali atu", fa'atasi ai ma se tapula'a maualuga e na'o le 7GHz;
I le taimi nei, o ituaiga autū o masini ua vaevaeina i ni vaega tetele se tolu:
Pine fa'atulagaina: O le faiga e sili ona faigofie ma taatele i le alamanuia, e ausia ai le 40Gb/s @ zero bias ma le>60GHz bandwidth;
MSM Metal Semiconductor Metal: E leai se manaʻoga mo le faʻaaogaina o le vevela maualuga, e mafai ona tuʻufaʻatasia i le pito i tua, e maualuga le tafe pogisa, ma e silia ma le 40GHz le bandwidth;
Fa'asologa maualuga:Mea e iloa ai galu femalagaa'i(TWPD) ma le single line carrier photodetectors (UTC) e fa'aaogaina mo microwave photon links, paleni le bandwidth maualuga ma le saturation maualuga o le photocurrent.
3. Meafaitino ma Galuega Taulima: Liliuina o 'Faaletonu' i ni Tulaga Lelei
I le tali atu i le le fetaui o le lattice ma le faaletonu o le faatinoga, ua atiae ai e le alamanuia ni fofo matutua:
Metotia e lua laasaga o le epitaxy: muamua, e totoina se vaega e puipuia ai le vevela maualalo e 30-50nm, ona faʻateleina lea o le vevela e oʻo atu ai i le mafiafia e manaʻomia, ma faʻaitiitia ai le mafiafia o le dislocation i le ~10 ⁷ cm ⁻ ²;
Inisinia o le Fa'a'a'a: O le eseesega i le fa'alauteleina o le vevela i le va o le Ge ma le Si o le a mafua ai le 0.2% biaxial tensile strain i le ata tifaga Ge, ma iu ai i le fa'aitiitia o le va o le fusi mai le 0.8 eV i le 0.77 eV ma le fa'alauteleina o le pito mitiia mai le 1.55 μ m i le 1.61 μ m, e aofia ai le fusi atoa o le C+L, ma e o'o lava i le fa'a'a'a'a'a o le mitiia i le fusi L e mafai ona tutusa ma le InGaAs;
Feso'ota'iga CMOS: O lo'o i ai pea i le tulaga su'esu'e. E mana'omia e le feso'ota'iga pito i luma (FEOL) ona tatalia le vevela maualuga e sili atu i le 750 ℃, ae o le feso'ota'iga pito i tua (BEOL) e talafeagai mo le vevela ae e aunoa ma ni mea fa'apipi'i tioata, ma e le'i fausia ai se fofo atoatoa. I le taimi nei, e masani ona fa'aaogaina e le alamanuia se auala fefiloi o le "90% chip e tasi + fafoleisa“.